1、真空泵的工作壓力應滿足真空設備的極限真空和工作壓力要求。例如，真空鍍膜要求的真空度為1 × 10-5mmHg，所選真空泵的真空度必須至少為5 ×
10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設備的真空高一半數量級。
2、正確選擇真空泵的工作點。每個泵都有一定的工作壓力范圍，例如：擴散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內，泵的抽速隨壓力而變化，其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5
× 10-4?5 ×
10-6mmHg。因此，泵的工作點應在此范圍內選擇，并且不應在10-8mmHg的環(huán)境下長時間工作。另一個例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作，但其工作壓力應小于10-20mm
10-5mmHg。
3、真空泵應該能夠在真空設備的工作壓力下清除真空設備過程中產生的所有氣體。
4、正確組合真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送功能，因此有時一個泵無法滿足泵送要求，因此需要組合多個泵以相互補充才能滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對氫的抽吸速度很高，但是不能被抽吸，而三極濺射離子泵(或兩極非對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣則具有一定的抽吸速度。當結合使用時，真空裝置將具有更好的真空度。另外，有些真空泵不能在大氣壓下工作，需要預真空。一些真空泵的出口壓力低于大氣壓，因此需要前級泵，因此必須將這些泵組合在一起。
5、真空設備油污的要求。如果嚴格要求設備無油，則應選擇各種無油泵，例如：水環(huán)泵，分子篩吸附泵，濺射離子泵，低溫泵等。如果要求不嚴格，您可以選擇擁有一個油泵，再加上一些油污染措施，例如添加冷阱，擋板，油阱等，也可以達到清潔真空的要求。
6、了解要泵送的氣體的成分。該氣體不包含可冷凝的蒸氣，粉塵和腐蝕性。選擇真空泵時，您需要了解氣體成分并為泵送的氣體選擇合適的泵。如果氣體中包含蒸氣，顆粒和腐蝕性氣體，請考慮在泵的入口管道上安裝輔助設備，例如冷凝器，集塵器等。
7、真空泵中的油蒸氣如何影響環(huán)境?如果環(huán)境不允許污染，則可以選擇無油真空泵或將油蒸氣排放到外部。
8、真空泵運行期間產生的振動對過程和環(huán)境沒有影響。如果過程不允許，請選擇無振動的泵或采取防振措施。
9、真空泵的價格，運行和維護成本。