根據(jù)真空系統(tǒng)的不同，所要求的真空度也不同。 因此，很多情況下，必須用一組真空系統(tǒng)來完成。 也就是說，必須用在不同壓力范圍內(nèi)工作的真空泵連接。

　　高真空側的真空泵可以達到系統(tǒng)要求的真空度，但低真空側的真空泵可以直接排氣大氣。 最簡單的真空系統(tǒng)是排出大氣的真空泵。 但是，高真空系統(tǒng)一般需要三級機組，中真空一般需要二級機組。

　　一臺高真空泵和一臺低真空泵難以構成有效的高真空系統(tǒng)。 這有幾個理由。 流量的連續(xù)性就是其中之一。 高真空泵有前段耐壓的限制。 也就是說，如果前段高于某個壓力，泵就不能正常工作。 當前級泵達到該臨界壓力時，吸引速度減少，前級泵的排氣(651-235 )有可能小于主泵的排氣(651-235 )，該(651-235 )的不一致會破壞(651-235 )連續(xù)性的要求，真空系統(tǒng)必然會正常工作但是，如果在高低真空泵之間連接另一臺真空泵，則發(fā)揮從上到下的作用，流量各泵連續(xù)地以最佳狀態(tài)工作。 羅茨泵可以在中真空范圍內(nèi)工作，因為最合適，也稱為羅茨加壓泵，壓縮比不高，正好可以連接數(shù)Pa到數(shù)百Pa的范圍。 三級高真空機組進入為高真空度時，主泵的排氣流量顯著減少，因此此時，僅用小的前級泵就能維持排氣的連續(xù)性，能夠以實際運用中常采用的方法，減少機組的能量消耗。

　　高真空機組經(jīng)常需要三級機組的另一個原因是高真空泵吸入壓力的限制。 泵有啟動壓力，傳統(tǒng)的高真空泵在數(shù)Pa的范圍。 因此，前級泵必須吸引到該壓力主泵為止才能工作。 但是，排出大氣的前級泵在達到該壓力之前經(jīng)常需要很長時間。 由于泵的吸引速度隨著壓力的下降而減少，所以特別是對周期性排氣的真空系統(tǒng)，要求達到工作真空度的時間。 預備吸引時間越長，進入工作真空度的時間也越長，所以增加一臺真空泵和前級的低真空泵的合作，能在比較短的時間內(nèi)達到主泵能工作的壓力，能使系統(tǒng)盡快進入工作。

　　羅茨泵和油加壓泵都可以是中真空泵，分子加壓泵具有極高的壓縮比。 這不僅能得到潔凈的真空，而且具有優(yōu)異的高真空性能，同時在中真空范圍內(nèi)也具有非常強的抽出能力。 因為它是目前唯一同時具有中高真空性能的真空泵，所以只需與低真空泵組合，就能構成性能可與三級機組匹敵的高真空機組。 具體地說，由于分子加壓泵的耐壓高，所以能夠容易地使前級泵處于高狀態(tài)流量，分子加壓泵的吸入壓力高，減輕了前級泵的預吸引負擔。 分子加壓泵能夠在100-50Pa下工作，前級的泵從大氣到該壓力，基本上遵循每經(jīng)過一段時間壓力下降一位數(shù)的規(guī)律，因此機組能夠具有高抽氣效率。 簡化高真空機組，取消羅茨泵是分子泵的另一個優(yōu)點。 對于比較大型的高真空應用設備，也能適當?shù)貜娀凹壉玫念A吸引能力，進一步縮短吸引時間，預吸引時間比整個排氣過程短，前級泵的使用時間也短，因此兼有多組預吸引作用是現(xiàn)實的。 這大大簡化了規(guī)模化應用的真空機組。

　　在一些中真空應用中，進入需要10-1pa的范圍，這通常很難在羅茨泵的二級機組中實現(xiàn)，但由二級羅茨泵連接的三級機組可以將真空度提高一位進入10-1Pa，所以在中真空應用中也是三分子加壓泵能在10-1Pa下完全吸引速度，也可以用三級中真空機組取代二級羅茨泵。 一般來說，長時間在真空的低端壓力范圍工作的羅茨泵完全可以代替分子加壓泵。 長時間在中真空的高端壓力范圍內(nèi)工作的羅茨泵應該比較少，這個壓力范圍的前段泵有很強的吸引速度。