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半導(dǎo)體工藝真空主要用于鍵合工藝，如蒸發(fā)、濺射、等離子體化學(xué)氣相沉積、真空干法刻蝕、真空吸附、測試設(shè)備、真空清洗等。半導(dǎo)體生產(chǎn)制造過程中容易產(chǎn)生易燃、易爆、有毒物質(zhì)和氣體，對生產(chǎn)和人員安全構(gòu)成威脅。因此，半導(dǎo)體真空泵應(yīng)用中的幾個(gè)安全注意事項(xiàng)如下: 1.定期清潔真空泵和其他附件、過濾器和管道，以避免過壓?！ ≡诎雽?dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)介質(zhì)在介質(zhì)提取過程中通過反應(yīng)室和真空泵時(shí)，介質(zhì)的組成可能極其復(fù)雜。例如，四氯化硅和氧氣在泵口形成二氧化硅，而四氯化鈦水解形成鹽酸。假設(shè)是油封機(jī)械泵，這些氣體物質(zhì)也可能與泵油發(fā)生反應(yīng)。這些變化假定形成顆粒、可冷凝物或腐蝕性介質(zhì)，它們可能阻塞真空泵或管道系統(tǒng)，影響真空泵的性能，導(dǎo)致壓力上升或過壓，并造成更大的風(fēng)險(xiǎn)。因此，有必要及時(shí)清理，必要時(shí)設(shè)置過濾設(shè)備?！ ?.有效稀釋有害氣體的濃度 半導(dǎo)體容易產(chǎn)生上述易燃、易爆和有毒的有害氣體。因此，在半導(dǎo)體真空泵的應(yīng)用中，當(dāng)提取這些介質(zhì)時(shí)，有必要防止在真空泵或排氣過程中發(fā)生一些不可控的反應(yīng)。例如，當(dāng)與空氣或氧氣接觸時(shí)，SiH4、PH3、AsH3、B2H6和其他物質(zhì)會引起燃燒甚至爆炸。當(dāng)空氣中氫的混合比例達(dá)到一定程度和溫度時(shí)，也會發(fā)生燃燒。這些都取決于物質(zhì)的數(shù)量及其與環(huán)境壓力和溫度的關(guān)系。因此，當(dāng)半導(dǎo)體真空泵抽取這些介質(zhì)時(shí)，在壓縮之前，需要惰性氣體如氮?dú)鈱⑦@些氣體稀釋到當(dāng)前條件下的安全范圍?！ ?.注意氧氣的濃度 如...
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活塞真空泵、旋片式真空泵、滑閥真空泵和羅茨真空泵通過活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)或旋轉(zhuǎn)來吸入、壓縮和排出氣體。然而，活塞是一個(gè)運(yùn)行部件，所以活塞的磨損是不可避免的。隨著維修次數(shù)的增加，工作真空度會不斷降低，直至不能滿足生產(chǎn)要求。這種泵的致命缺點(diǎn)是工作噪音大，耗油量大，故障率高。一般來說，需要設(shè)置備用機(jī)器，這實(shí)際上增加了設(shè)備投資和運(yùn)行成本。此外，如果這種泵用于泵送可冷凝氣體，如水蒸汽，潤滑油將被乳化。因此，它們只能用于泵送不凝性(空氣)氣體，而不能泵送帶有顆粒的介質(zhì)，這限制了它們的應(yīng)用范圍?！ ∷h(huán)真空泵通過安裝在泵殼內(nèi)的帶有多個(gè)葉片的偏心轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，向泵殼內(nèi)噴水，形成與泵殼同心的水環(huán)，水環(huán)和轉(zhuǎn)子葉片形成周期性的容積變化，以吸入、壓縮和排出氣體。其缺點(diǎn)是真空度低;不能用粒狀介質(zhì)吸取;轉(zhuǎn)子高速旋轉(zhuǎn)不容易進(jìn)行防腐處理，因此腐蝕介質(zhì)不能被吸入。 使用這些真空泵時(shí)應(yīng)該注意什么?首先，必須檢查和確定每個(gè)過程所需的真空度。因?yàn)槊總€(gè)過程都有自己合適的真空范圍，所以必須仔細(xì)研究和確定?！ ≡诖_定工藝所需真空度的基礎(chǔ)上，檢查真空泵系統(tǒng)的極限真空度，因?yàn)橄到y(tǒng)的極限真空度決定了系統(tǒng)的最佳工作真空度。一般來說，系統(tǒng)的極限真空度比系統(tǒng)的工作真空度低20%，比前級泵低50%。 檢查并確定工藝所需的提取類型和體積。因?yàn)槿绻盟偷臍怏w類型與泵中的液體發(fā)生反應(yīng)，泵系統(tǒng)就會受到污染。同時(shí)，必須考慮確定適當(dāng)?shù)呐艢鈺r(shí)間和提取過程中產(chǎn)...
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一，安裝真空泵軸承和泵軸零件 1.將泵軸和軸承從支架的非驅(qū)動(dòng)端安裝到支架中。通過敲擊軸承的外環(huán)，可以將泵軸安裝到支架中。注意:撞擊時(shí)，墊塊或套筒工具應(yīng)放在軸承的端面上，以防損壞軸承。 2.安裝非驅(qū)動(dòng)端軸承蓋和鎖緊螺栓。 3.安裝墊圈、驅(qū)動(dòng)端軸承蓋和鎖緊螺栓。用手轉(zhuǎn)動(dòng)泵軸，泵軸應(yīng)平穩(wěn)轉(zhuǎn)動(dòng)。如果泵軸轉(zhuǎn)動(dòng)緊密，稍微松開螺栓，調(diào)整泵軸使其平穩(wěn)轉(zhuǎn)動(dòng)?！ ?.安裝平鍵、聯(lián)軸器泵軸部分、聯(lián)軸器壓板和鎖緊螺栓?！ 《?，安裝真空泵泵體和機(jī)械密封部分 當(dāng)機(jī)械密封靜環(huán)部件安裝在泵體上時(shí)，機(jī)械密封靜環(huán)部件可以被水浸濕，然后用手均勻地壓入泵體中。小心不要推得太緊!組裝后，檢查機(jī)械密封的靜環(huán)部分是否與泵體裝配緊密?！ ⒈皿w緊緊地壓在電機(jī)上，并擰緊螺栓。小心不要損壞機(jī)械密封的靜環(huán)部分?！ |圈安裝到電機(jī)后蓋中，然后將泵體、電機(jī)前蓋、軸承、電機(jī)轉(zhuǎn)子和內(nèi)軸承蓋部件安裝到電機(jī)殼體中，并鎖定螺栓。 依次安裝電機(jī)風(fēng)扇、擋圈、電機(jī)護(hù)罩和螺釘。安裝完成后，泵的電機(jī)風(fēng)扇護(hù)罩端將朝下并垂直于地面，準(zhǔn)備安裝泵的其他部件。 三.安裝真空泵葉輪 1、葉輪壓在軸承上時(shí)，應(yīng)保證葉輪與泵體前端面保持0.05 ~ 0.15毫米的間隙.水平放置真空泵并檢查間隙。如果間隙太小，可能導(dǎo)致真空泵機(jī)械故障;如果間隙太大，真空泵的泵送速率將降低。 2.調(diào)整葉輪和泵體前端面之間的間隙后，用深度百分比測量泵體外緣和葉輪平面之間的深度差，以...
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在安裝和使用干式真空泵之前，客戶應(yīng)該仔細(xì)閱讀常見的安全問題。如果他們不掌握這些內(nèi)容，就不容易掌握機(jī)械泵運(yùn)行中存在的風(fēng)險(xiǎn)。這種內(nèi)容在機(jī)械泵的說明書中經(jīng)常詳細(xì)介紹。如果您沒有它，您可以根據(jù)本文了解它: 1.不安裝防護(hù)罩，不要操作干式真空泵。在拆卸和更換保護(hù)蓋之前，斷開電機(jī)的開關(guān)電源。在沒有正確安裝保護(hù)蓋的情況下，接近旋轉(zhuǎn)部件是相當(dāng)危險(xiǎn)的。 2.當(dāng)物質(zhì)是具有足夠氧氣的物質(zhì)時(shí)(二氧化碳的比例超過21%)，請不要操作泵，除非有合適的稀有氣體和吹掃系統(tǒng)軟件。在沒有適當(dāng)清洗的情況下，吸入被礦物發(fā)動(dòng)機(jī)油或非塑性流體力學(xué)污染的足夠的氧物質(zhì)將導(dǎo)致爆炸?！ ?.采取預(yù)防措施，防止在清除過程中長期暴露在焊接煙塵或材料中。 4.從干式真空泵排出的蒸汽不需要進(jìn)入封閉或不自然通風(fēng)的區(qū)域。如果提取的蒸汽含有對自然環(huán)境有害的成分，在排放到空氣中之前必須妥善解決?！ 】梢钥闯?，在使用干式進(jìn)口真空泵之前，人們必須掌握許多安全問題，但所有這些都是非常必要的，并且直接關(guān)系到實(shí)際操作人員的生命安全。因此，我們不必忽視這個(gè)警告來確保人和機(jī)器的安全。
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磁力驅(qū)動(dòng)泵用靜密封代替動(dòng)密封，徹底解決了泄漏問題。主要用于運(yùn)輸有毒、有害、易燃、易爆、腐蝕性和貴重液體。目前，生產(chǎn)中廣泛使用的磁力驅(qū)動(dòng)泵有磁力驅(qū)動(dòng)離心泵。下面介紹目前使用的磁力驅(qū)動(dòng)離心泵?！ ?.設(shè)備的基本知識 1.1工作原理 電機(jī)通過聯(lián)軸器連接到外部磁性轉(zhuǎn)子，葉輪連接到內(nèi)磁轉(zhuǎn)子。內(nèi)磁轉(zhuǎn)子和外磁轉(zhuǎn)子之間設(shè)有完全密封的隔離套，隔離套緊固在泵蓋上，泵輸送的介質(zhì)以靜態(tài)密封的方式密封在泵體內(nèi)，不會泄漏出去。當(dāng)外磁轉(zhuǎn)子在電機(jī)驅(qū)動(dòng)下轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，由于內(nèi)外磁轉(zhuǎn)子的永磁磁極之間的相互吸引和排斥，帶動(dòng)內(nèi)磁轉(zhuǎn)子一起轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)泵軸轉(zhuǎn)動(dòng)，達(dá)到輸送液體的工作目的?！ ?.2設(shè)備結(jié)構(gòu) 磁力泵主要由外殼(泵蓋、泵體等)組成。外磁轉(zhuǎn)子，內(nèi)磁轉(zhuǎn)子，隔離套，軸，軸承等。 1.3主要績效指標(biāo) 主要參數(shù)包括:流量、升力、轉(zhuǎn)速、功率和效率?！ ?.4設(shè)備的用途 用于運(yùn)輸有毒、有害、易燃、易爆、腐蝕性和貴重液體。 2.開始和停止的步驟 磁力泵嚴(yán)格要求在運(yùn)行過程中不要空轉(zhuǎn)?？辙D(zhuǎn)一小段時(shí)間，甚至幾秒鐘，都會導(dǎo)致泵軸斷裂，軸承和隔離套損壞，內(nèi)外磁鋼消磁?！ 〈帕Ρ幂斔偷慕橘|(zhì)不允許含有鐵磁性雜質(zhì)和硬雜質(zhì)。磁力泵不允許在低于30%的額定值流量下運(yùn)行。 2.1啟動(dòng)前的檢查和準(zhǔn)備 (1)準(zhǔn)備必要的驅(qū)動(dòng)工具:氣門鉤、扳手等?！ ?2)檢查泵各連接部分的螺絲是否擰緊，電機(jī)接地線是否完好，閥門是否靈活好用。 (3)帶滾動(dòng)軸承...
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立式多級離心真空泵在安裝過程中會因疏忽而導(dǎo)致安裝不完全，影響將來的真空泵性能。接下來，我們將分析立式多級離心真空泵下的常見安裝錯(cuò)誤和相關(guān)解決方案。 一、 水管路更多的彎頭 如果在水管路上使用更多的彎頭，將會增加一些防水性。另外，肘部應(yīng)沿筆直的方向旋轉(zhuǎn)，不允許其沿水平方向旋轉(zhuǎn)，以免積聚空氣?！ 《?dāng)設(shè)備進(jìn)入水管路時(shí)，水平部分會水平或向上上升 這樣做會在進(jìn)水管中積聚空氣，降低水管和水真空泵的真空度，減少水真空泵的吸水頭，并減少出水量。正確的方法是：其水平部分應(yīng)略微偏向水源，不應(yīng)水平，也不得向上提起。 三、變成水口直接連接到彎頭 這使得水流不均勻地分布通過彎頭并進(jìn)入葉輪。當(dāng)進(jìn)水管的直徑大于水真空泵水口的直徑時(shí)，應(yīng)安裝異徑管。某些偏頭痛減壓器平面應(yīng)安裝在頂部，斜面應(yīng)安裝在下部。否則，會收集空氣，減少水的輸出或無法抽水，并且會發(fā)出撞擊聲。如果進(jìn)水管和水真空泵入口水口的直徑是平的，則應(yīng)在水真空泵入口水口和彎頭之間增加一條單向管。直管的長度不得小于水管直徑的2至3倍?！ ∷?、出水管高于出水池的正常水位 如果輸出水口高于水箱中的正常水位，則增加水真空泵的揚(yáng)程，但將其降低流量。如果由于地形條件，有必要使水口高于水箱的水位，則應(yīng)在水管口安裝彎頭和短管，以使水管虹吸并下降水口的高度?！ ∥濉⑦M(jìn)水管的進(jìn)水口 ?、偃肟诠艿娜肟谒谂c入口池的底部和壁之間的距離小于入口水口的直徑。如果池塘底部有污...
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1.真空泵高溫原因分析 (1)電機(jī)功率大，工作電流大，發(fā)熱量大?！ ?2)風(fēng)機(jī)葉片數(shù)量少，產(chǎn)生的風(fēng)量小?！ ?3)風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速低，風(fēng)壓大，風(fēng)量小?！ ?4)真空泵電機(jī)母線的電壓為380伏，由于電纜壓降和負(fù)載分布不均勻，電機(jī)實(shí)際施加的電壓僅為365伏，電壓低導(dǎo)致運(yùn)行電流大?！ ?5)電機(jī)附有灰塵和油污，降低了散熱能力?！ ?.真空泵高溫對策 電機(jī)功率和轉(zhuǎn)速與真空泵匹配，不能改變。風(fēng)扇安裝在電機(jī)的主軸上。電機(jī)的轉(zhuǎn)速?zèng)Q定風(fēng)扇的轉(zhuǎn)速，不能更換。雖然增加風(fēng)扇葉片的數(shù)量可以起到一定的作用，但當(dāng)葉片數(shù)量增加時(shí)，動(dòng)態(tài)平衡就不容易找到。如果對準(zhǔn)不好，電機(jī)的振動(dòng)會增加。 (1)將原來的風(fēng)扇罩延長40厘米，安裝一個(gè)與風(fēng)扇罩內(nèi)徑相同的軸流風(fēng)扇。軸流風(fēng)機(jī)的電機(jī)功率為850瓦，轉(zhuǎn)速為1489轉(zhuǎn)/分，電壓為380伏，原風(fēng)機(jī)不變。軸流風(fēng)扇由另一個(gè)電源控制，并且軸流風(fēng)扇不與主電機(jī)互鎖。真空泵啟動(dòng)后及時(shí)啟動(dòng)軸流風(fēng)機(jī)，真空泵關(guān)閉30分鐘后關(guān)閉軸流風(fēng)機(jī)，使主電機(jī)完全冷卻。 (2)定期清除電機(jī)上的灰塵，保持電機(jī)散熱片清潔，增加其散熱能力; (3)將真空泵母線的電壓調(diào)整到400伏 3.真空泵高溫影響 (1)軸流風(fēng)機(jī)轉(zhuǎn)速高，風(fēng)壓和風(fēng)量大，冷卻效果大大增強(qiáng)。在相同的環(huán)境溫度和負(fù)載電流下，主電機(jī)溫度降低12℃。夏季主真空泵電機(jī)的溫度沒有再次超過極限。 (2)減緩主電機(jī)絕緣老化速度，延長主電機(jī)使用壽命?！ ?3)軸流風(fēng)機(jī)...
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